Structar Inneal Etching Plasma

Tha uidheamachd ICP sa mhòr-chuid air a dhèanamh suas de cheithir phàirtean: ro{0}}seòmar falamh, seòmar sgudail, siostam solarachaidh gas agus siostam falamh.

(1) Ro{1}}seòmar falamh

Is e gnìomh an t-seòmar falamh dèanamh cinnteach gu bheil an seòmar sgudail air a chumail aig ìre falamh stèidhichte, nach eil an àrainneachd a-muigh a’ toirt buaidh (leithid duslach, ceò uisge), agus a ’sgaradh gasaichean cunnartach bhon t-seòmar ghlan. Tha e air a dhèanamh suas de chòmhdach, manipulator, inneal tar-chuir, doras aonaranachd, msaa.

(2) Seòmar-ionnlaid

Is e an seòmar sgudail prìomh structar uidheamachd sgudail ICP. Tha buaidh dhìreach aige air an ìre sgudail, cho dìreach agus a tha an sgudal, agus cho garbh. Is iad na prìomh phàirtean den t-seòmar sgudail: electrode àrd, aonad tricead rèidio ICP, aonad tricead rèidio RF, siostam electrode nas ìsle, siostam smachd teothachd, msaa.

(3) Siostam solarachaidh gas

Tha an siostam solarachaidh gas airson diofar ghasaichean sgudail a lìbhrigeadh don t-seòmar sgudail, agus smachd ceart a chumail air ìre sruthadh gas agus sruthadh tron ​​rianadair cuideam (PC) agus rianadair sruth mòr (MFC). Tha an siostam solarachaidh gas air a dhèanamh suas de bhotal stòr gas, loidhne-phìoban lìbhrigidh gas, siostam smachd, aonad measgachadh, msaa.

(4) Siostam falamh
Tha dà shiostam falamh ann, aon airson an t-seòmar falamh agus am fear eile airson an t-seòmar sgudail. Thèid an seòmar falamh fhalmhachadh le pumpa meacanaigeach. Is ann dìreach nuair a ruigeas an ìre falamh anns an t-seòmar falamh an luach suidhichte as urrainn an doras aonaranachd fhosgladh gus an wafer a ghluasad. Tha am falamh anns an t-seòmar sgudail air a thoirt seachad le pumpa meacanaigeach agus pumpa moileciuil. Bidh na gasaichean a thig bhon ath-bhualadh san t-seòmar sgudail cuideachd air am falmhachadh leis an t-siostam falamh.