Cleachdaidhean sònraichte de luchd-glanaidh plasma

Bidh innealan glanaidh / sgrìobadh plasma a’ gineadh plasma le bhith a’ cur dà electrod ann an soitheach seulaichte gus raon dealain a chruthachadh. Thathas a’ cleachdadh pumpa falamh gus ìre falamh sònraichte a chumail suas. Mar a bhios an gas a’ fàs nas teirce, tha an astar eadar moileciuilean agus gluasad saor mholacilean no ions cuideachd a’ dol am meud. Fo bhuaidh an raoin dealain, bidh na h-ianan sin a’ bualadh agus a’ cruthachadh plasma. Tha na h-ianan sin gu math reactive, le lùth gu leòr gus cha mhòr a h-uile ceangal ceimigeach a bhriseadh, ag adhbhrachadh ath-bheachdan ceimigeach air uachdar fosgailte sam bith. Tha feartan ceimigeach eadar-dhealaichte aig diofar phlasma gas. Mar eisimpleir, tha plasma ocsaidean gu math oxidizing, comasach air photoresist a oxidachadh gus gas a dhèanamh, agus mar sin a’ faighinn buaidh glanaidh. Tha anisotropy sàr-mhath aig plasma gas corrosive, a tha a 'coinneachadh ri riatanasan etching. Bidh làimhseachadh plasma a’ toirt a-mach deàrrsadh, agus mar sin an t-ainm glaodh glow.
Tha an dòigh glanaidh plasma gu mòr an urra ri “gnìomhachadh” mìrean gnìomhach sa phlasma gus stains uachdar a thoirt air falbh. A thaobh an uidheamachd ath-bhualadh, mar as trice bidh glanadh plasma a ’toirt a-steach a’ phròiseas a leanas: tha gasaichean neo-organach air an togail a-steach do staid plasma; tha stuthan gasach air an cur air uachdar cruaidh; bidh na buidhnean adsorbed ag ath-fhreagairt le moileciuilean air an uachdar cruaidh gus moileciuilean toraidh a chruthachadh; bidh na moileciuilean toraidh a’ dol a-steach don ìre gas; agus thèid fuigheall ath-bhualadh a thoirt air falbh bhon uachdar.

Is e am feart as cudromaiche de theicneòlas glanaidh plasma gum faod e seòrsa sam bith de shubstrat a làimhseachadh, a’ toirt a-steach meatailtean, semiconductors, ocsaidean, agus a’ mhòr-chuid de stuthan polymer leithid polypropylene, polyester, polyimide, polyvinyl chloride, epoxy, agus eadhon polytetrafluoroethylene. Faodaidh e an dà chuid an uachdar gu lèir agus raointean sònraichte a ghlanadh, a bharrachd air structaran iom-fhillte.